叶回舟微笑着点点头,说道:“请您开机通电,我想看看这部机器是怎样运作的!”
“好,任工,把车间通电!”
跟在后面的任技术员,赶紧跑到隔壁的配电房,拉闸通电。
王厂长抚摸着这台冰冷的机器对着叶回舟说道:
“这台机器一次可装35片,在进行接近式曝光试验时,分离间隙在10-30微米,负性光刻胶的分辨率可达3-5微米,进行软接触式曝光分辨率为2.5微米……”。
叶回舟点头听着,他还是第1次见外国的光刻机。
就在前几年由rb通商产业省牵头,以hitachi、mitsubishi、Fujitsu、toshiba、NEc五大公司作为骨干,了。
联合通产省的电气技术实验室、工业技术研究院电子综合研究所和计算机综合研究所,组建“VLSI技术联合研发体”。
投资720亿日元,其中政府出资320亿日元,攻坚超大规模集成电路的技术难关。
dc400是这个时期的产物,但。1978年,美丽国的GcA推出了革命性的曝光装备mann4800dSw。
这是全球首台分步重复曝光装备,研发费用达500万美元。
该装备用波长436纳米的g线作为曝光光源,采用carlZeiss的S-planar10\/0.28镜头,进行10:1的缩小比例曝光,可以对10毫米x10毫米的区域进行曝光,分辨率可达1微米。quya.org 熊猫小说网
售价为45万美元,立刻就把rb人生产的光刻机淘汰了两代,像dc400刚生产出来的时候,造价25万美元。
经过七八年的时间。
到了现在,美丽国的GcA真正使步进器成为主流光刻工具的是256KdRAm一代,占据了市场领导地位。
不过岛国在奋起直追。
此时,七八年前的初代光刻机,像什么dc400,pLA-500等等,都成了垃圾货,摆在仓库里还占地方。
所以,这批光刻机还有很多设备,王厂长是捡洋垃圾捡来的,卖20万他赚发了。
不过叶回舟不知道的事。
此时大陆的科学院109厂的研制开发的KA-7光刻机已经做出来了,不过还没批量生产。
机电部45所研制出了分步光刻机样机,通过电子部技术鉴定,认为达到美丽国4800dSw的水平。
兔子第一台分步投影式光刻机,采用的是436纳米G线光源。
按照这个时间节点算,大陆在分步光刻机上与国外的差距不超过五年,美丽国是1978年。
这些光刻机水平均不低,最保守估计跟现在最先进的国外的光刻机相比最多也就不到4年。
前年魔都的元件五厂和无线电厂甚至成功仿制英特尔公司8080cpU,比德国仿制成功还早一年。
此时大陆的半导体工业仅次于美丽国,领先于韩、台、日。
取消了包括运10、直8、远程轰炸机、大型导弹驱逐舰、长城\/曙光大型计算机项目、数字焊接系统等一系列军用、民用高精尖技术项目下马,光刻机项目也在其中。